תהליך לצריבת שכבות דיאלקטריות בעלות תכונות רזיסט ופרופיל צריבה משופרים - פטנט 165758 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 165758
שם האמצאה:: תהליך לצריבת שכבות דיאלקטריות בעלות תכונות רזיסט ופרופיל צריבה משופרים
שם באנגלית:: PROCESS FOR ETCHING DIELECTIC FILMS WITH IMPROVED RESIST AND/OR ETCH PROFILE CHARACTERISTICS

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
14/12/2004	בקשה לאומית	165758	ישראל (IL)
15/01/2006	פרסום לאומי	165758	ישראל (IL)

מגיש

שם:: LAM RESEARCH CORPORATION

פטנטים דומים