מערכת לייבוש משטחים של שבבי מוליכים למחצה תוך שימוש בריבוי כניסות ויציאות המוחזקים בסמיכות למשטחי השבבים - פטנט 161550 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 161550
שם האמצאה:: מערכת לייבוש משטחים של שבבי מוליכים למחצה תוך שימוש בריבוי כניסות ויציאות המוחזקים בסמיכות למשטחי השבבים
שם באנגלית:: APPARATUS FOR DRYING SEMICONDUCTOR WAFER SURFACES USING A PLURALITY OF INLETS AND OUTLETS HELD IN CLOSE PROXIMITY TO THE WAFER SURFACES

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2004/030052	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
30/09/2002	דין קדימה	261839	ארה"ב (US)
30/09/2003	בקשה בינלאומית	PCT/US/2003/031136	ארה"ב (US)
21/04/2004	בקשת PCT	161550	ישראל (IL)
30/12/2010	פרסום לאומי	161550	ישראל (IL)

מגיש

שם:: LAM RESEARCH CORPORATION
כתובת:: 4650 CUSHING PARKWAY FREMONT, CA 94538-6470 , US
מדינה:: ארה"ב

מגיש/ממציא

שם:: JOHN M. DE LARIOS

מגיש/ממציא

שם:: JAMES P. GARCIA

מגיש/ממציא

שם:: CARL A. WOODS

מגיש/ממציא

שם:: MICHAEL RAVKIN

מגיש/ממציא

שם:: FRITZ REDEKER

מגיש/ממציא

שם:: JOHN BOYD

מגיש/ממציא

שם:: AFSHIN NICKHOU

מסירת הודעות

שם:: ג'יי אמ בי דייויס בן-דוד
כתובת:: מרכז בק למדע, הרטום 8, הר חוצבים, ירושלים 9777401
מדינה:: ישראל
טלפון:: 02-5714777
פקס:: 02-5714455
דוא"ל:: ipo@jmb.co.il

סוכן

שם:: ג'יי אמ בי דייויס בן-דוד
כתובת:: מרכז בק למדע, הרטום 8, הר חוצבים, ירושלים 9777401
מדינה:: ישראל
טלפון:: 02-5714777
פקס:: 02-5714455
דוא"ל:: ipo@jmb.co.il

מסמכים

פטנטים דומים