שיטה לאספקת גז מחולק לתא מהתקן לאספקת גז המצוייד במערכת לבקרת שיעור זרימה - פטנט 160393 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 160393
שם האמצאה:: שיטה לאספקת גז מחולק לתא מהתקן לאספקת גז המצוייד במערכת לבקרת שיעור זרימה
שם באנגלית:: METHOD FOR SUPPLYING DIVIDED GAS TO A CHAMBER FROM A GAS SUPPLY APPARATUS EQUIPPED WITH A FLOW RATE CONTROL SYSTEM

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2003/102707	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
03/06/2002	דין קדימה	2002-161086	יפן (JP)
20/01/2003	בקשה בינלאומית	PCT/JP/2003/000437	יפן (JP)
13/02/2004	בקשת PCT	160393	ישראל (IL)
11/02/2009	פרסום לאומי	160393	ישראל (IL)

מגיש

שם:: FUJIKIN INCORPORATED
כתובת:: 3-2, ITACHIBORI, 2 - CHOME NISHI-KU, OSAKA - SHI OSAKA 550-0012 , JP
מדינה:: יפן

מגיש

שם:: TOKYO ELECTRON LIMITED
כתובת:: 3-6, AKASAKA 2-CHOME MINATO-KU TOKYO 107-0052 , JP
מדינה:: יפן

מסירת הודעות

שם:: וולף, ברגמן וגולר
כתובת:: ירושלים 91013
מדינה:: ישראל
טלפון:: 02-6242255
פקס:: 6242266

סוכן

שם:: וולף, ברגמן וגולר
כתובת:: ירושלים 91013
מדינה:: ישראל
טלפון:: 02-6242255
פקס:: 6242266

מסמכים

פטנטים דומים