התקן לחלוקת והזנת זרימת גז מהתקן לויסות שיעור זרימה המצויד בציוד להזנת גז לתא - פטנט 172055 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 172055
שם האמצאה:: התקן לחלוקת והזנת זרימת גז מהתקן לויסות שיעור זרימה המצויד בציוד להזנת גז לתא
שם באנגלית:: DEVICE FOR DIVIDING AND FEEDING GAS FLOW FROM FLOW RATE-REGULATING DEVICE-EQUIPPED GAS-FEEDING EQUIPMENT TO CHAMBER

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2004/114038	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
20/06/2003	דין קדימה	2003-177134	יפן (JP)
10/06/2004	בקשה בינלאומית	PCT/JP/2004/008117	יפן (JP)
20/11/2005	בקשת PCT	172055	ישראל (IL)
11/02/2009	פרסום לאומי	172055	ישראל (IL)

מגיש

שם:: FUJIKIN INC.

מגיש

שם:: TOKYO ELECTRON LTD

פטנטים דומים