קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
מלחציים אלקטרוסטטים לשימוש בטמפרטורות גבוהות
פטנט 159497
כללי
מספר פטנט:
159497
שם האמצאה:
מלחציים אלקטרוסטטים לשימוש בטמפרטורות גבוהות
שם באנגלית:
HIGH TEMPERATURE ELECTROSTATIC CHUCK
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
פרסום בינלאומי
2003/003448
הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
28/06/2001
דין קדימה
892458
ארה"ב (US)
05/06/2002
בקשה בינלאומית
PCT/US/2002/017663
ארה"ב (US)
22/12/2003
בקשת PCT
159497
ישראל (IL)
20/03/2008
פרסום לאומי
159497
ישראל (IL)
מגיש
שם:
LAM RESEARCH CORPORATION
כתובת:
4650 CUSHING PARKWAY FREMONT, CA 94538-6470 , US
מדינה:
ארה"ב
מסירת הודעות
שם:
ריינהולד כהן ושותפיו
כתובת:
רחוב הברזל 26א', רמת החייל 69710
מדינה:
ישראל
טלפון:
03-7109333
פקס:
03-5606405
דוא"ל:
rasham@rcip.co.il
סוכן
שם:
ריינהולד כהן ושותפיו
כתובת:
רחוב הברזל 26א', רמת החייל 69710
מדינה:
ישראל
טלפון:
03-7109333
פקס:
03-5606405
דוא"ל:
rasham@rcip.co.il
מסמכים
פרטי הבקשה
שרטוטים
תביעות
פטנטים דומים
תהליכים עם טמפרטורה משתנה עבור מסגרת אלקטרוסטיות הניתנת להתאמה
הגנה בפני פריקה אלקטרוסטטית ע" י שימוש בחומרים בעלי מוליכות עילאית בטמפרטורה גבוהה
תפס אלקטרוסטטי קרמי ושיטת ייצור
מלחציים לריקיקים אלקטרוצטטיים עם משוב דינמי
משאבה אלקטרוסטטית