תהליכים עם טמפרטורה משתנה עבור מסגרת אלקטרוסטיות הניתנת להתאמה - פטנט 164363 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 164363
שם האמצאה:: תהליכים עם טמפרטורה משתנה עבור מסגרת אלקטרוסטיות הניתנת להתאמה
שם באנגלית:: VARIABLE TEMPERATURE PROCESSES FOR TUNABLE ELECTROSTATIC CHUCK

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2003/085721	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
02/04/2002	דין קדימה	60/369773	ארה"ב (US)
04/09/2002	דין קדימה	10/235453	ארה"ב (US)
25/03/2003	בקשה בינלאומית	PCT/US/2003/009153	ארה"ב (US)
01/10/2004	בקשת PCT	164363	ישראל (IL)
17/02/2010	פרסום לאומי	164363	ישראל (IL)

מגיש

שם:: LAM RESEARCH CORPORATION
כתובת:: 4650 CUSHING PARKWAY FREMONT, CA 94538-6470 , US
מדינה:: ארה"ב

מסירת הודעות

שם:: סנפורד ט. קולב ושות'
כתובת:: שער הגיא 4, מרמורק, רחובות 76122
מדינה:: ישראל
טלפון:: 08-9455122
פקס:: 08-9454556
דוא"ל:: colbpat@stc.co.il

סוכן

שם:: סנפורד ט. קולב ושות'
כתובת:: שער הגיא 4, מרמורק, רחובות 76122
מדינה:: ישראל
טלפון:: 08-9455122
פקס:: 08-9454556
דוא"ל:: colbpat@stc.co.il

מסמכים

פטנטים דומים