כללי
מספר פטנט:
137014
שם האמצאה:
יריעות פחמן המכילות פלואור ושיטה לשיקוען
שם באנגלית:
FLUORINE CONTAINING CARBON FILM ANDMETHOD FOR DEPOSITING SAME
  בקשות ופרסומים
תאריך סוג מספר מדינה
פרסום בינלאומי 1999/034430 הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
דין קדימה 369495/97 יפן (JP)
בקשה בינלאומית PCT/JP/1998/005641 יפן (JP)
בקשת PCT 137014 ישראל (IL)
פרסום לאומי 137014 ישראל (IL)
  מגיש
שם:
TOKYO ELECTRON LTD