שיטה לציפוי שכבה דקה באמצעות פלסמה - פטנט 130115 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 130115
שם האמצאה:: שיטה לציפוי שכבה דקה באמצעות פלסמה
שם באנגלית:: PLASMA THIN-FILM DEPOSITION METHOD

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
24/05/1999	בקשה לאומית	130115	ישראל (IL)
01/06/2000	פרסום לאומי	130115	ישראל (IL)

מגיש

שם:: TOKYO ELECTRON LTD

פטנטים דומים