שיטה לציפוי שכבה דקה באמצעות פלסמה - פטנט 130051 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 130051
שם האמצאה:: שיטה לציפוי שכבה דקה באמצעות פלסמה
שם באנגלית:: PLASMA THIN-FILM DEPOSITION METHOD

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
19/05/1999	בקשה לאומית	130051	ישראל (IL)
29/02/2000	פרסום לאומי	130051	ישראל (IL)

מגיש

שם:: TOKYO ELECTRON LTD

מגיש/ממציא

שם:: RISA NAKASE

מגיש/ממציא

שם:: TAKESHI AOKI

מגיש/ממציא

שם:: AKIRA SUZUKI

מגיש/ממציא

שם:: YOSHIHIRO KATO

פטנטים דומים