כללי
מספר פטנט:
125038
שם האמצאה:
מגביל זרימת חלקיקים עבור תאי עיבוד בואקום ושיטה להגבלת זרימת חלקיקים
שם באנגלית:
A PARTICLE FLOW RESTRICTOR FOR VACUUM PROCESSING CHAMBERS AND A METHOD FOR RESTRICTING PARTICLES FLOW
  בקשות ופרסומים
תאריך סוג מספר מדינה
בקשה לאומית 125038 ישראל (IL)
פרסום לאומי 125038 ישראל (IL)
  מגיש
שם:
PERSYS TECHNOLOGY LTD.