מגביל זרימת חלקיקים עבור תאי עיבוד בואקום ושיטה להגבלת זרימת חלקיקים - פטנט 110778 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 110778
שם האמצאה:: מגביל זרימת חלקיקים עבור תאי עיבוד בואקום ושיטה להגבלת זרימת חלקיקים
שם באנגלית:: A PARTICLE FLOW RESTRICTOR FOR VACUUM PROCESSING CHAMBERS AND A METHOD FOR RESTRICTING PARTICLES FLOW

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
25/08/1994	בקשה לאומית	110778	ישראל (IL)
11/11/1994	פרסום לאומי	110778	ישראל (IL)

מגיש

שם:: PERSYS TECHNOLOGY LTD.

מגיש/ממציא

שם:: GIDEON DRIMER

פטנטים דומים