כללי
מספר פטנט:
248647
שם האמצאה:
קביעת תצורה עבור אלמנט אופטי ממוקם בפתח איסוף בעת בדיקת נתח
שם באנגלית:
DETERMINING A CONFIGURATION FOR AN OPTICAL ELEMENT POSITIONED IN A COLLECTION APERTURE DURING WAFER INSPECTION
  בקשות ופרסומים
תאריך סוג מספר מדינה
פרסום בינלאומי 2015/200856 הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
דין קדימה 62/017,264 ארה"ב (US)
דין קדימה 62/111,402 ארה"ב (US)
דין קדימה 14/749,564 ארה"ב (US)
בקשה בינלאומית PCT/US/2015/038115 ארה"ב (US)
בקשת PCT 248647 ישראל (IL)
פרסום לאומי 248647 ישראל (IL)
  סיווגים (IPC)
  • G01N: פיזיקה > מדידה; בדיקה