שיטה לקביעת תכונות קריטיות המיוחסות למידות, התקן בדיקה ושיטה לייצור מכשיר - פטנט 242686 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 242686
שם האמצאה:: שיטה לקביעת תכונות קריטיות המיוחסות למידות, התקן בדיקה ושיטה לייצור מכשיר
שם באנגלית:: METHOD OF DETERMINING CRITICAL-DIMENSION-RELATED PROPERTIES, INSPECTION APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2014/198516	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
12/06/2013	דין קדימה	61/834105	ארה"ב (US)
23/05/2014	בקשה בינלאומית	PCT/EP/2014/060625	משרד הפטנטים האירופי (EP)
19/11/2015	בקשת PCT	242686	ישראל (IL)
31/01/2016	פרסום לאומי	242686	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה

מגיש

שם:: ASML NETHERLANDS B.V.

פטנטים דומים