התקן ליתוגרפיה, התקן, שיטה ותוכנת מחשב למתן נקודת מערכה, שיטה לייצור ההתקן פטנט 232805
כללי
מספר פטנט:
232805
שם האמצאה:
התקן ליתוגרפיה, התקן, שיטה ותוכנת מחשב למתן נקודת מערכה, שיטה לייצור ההתקן
שם באנגלית:
A LITHOGRAPHY APPARATRUS, AN APPARATUS FOR PROVIDING SETPOINT DATA, A DEVICE MANUFACTURING METHOD, A METHOD FOR PROVIDING SETPOINT DATA AND A COMPUTER PROGRAM
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
פרסום בינלאומי
2013/104482
הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
דין קדימה
61/586053
ארה"ב (US)
בקשה בינלאומית
PCT/EP/2012/075450
משרד הפטנטים האירופי (EP)
בקשת PCT
232805
ישראל (IL)
פרסום לאומי
232805
ישראל (IL)
סיווגים (IPC)
G03F : פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה