קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
מדידה של אותות חשמליים באמצעות חיישן פלזמה הנוצר ע" י עירור של קרן אלקטרונים
פטנט 230462
כללי
מספר פטנט:
230462
שם האמצאה:
מדידה של אותות חשמליים באמצעות חיישן פלזמה הנוצר ע" י עירור של קרן אלקטרונים
שם באנגלית:
ELECTRICAL INSPECTION OF ELECTRONIC DEVICES USING ELECTRON-BEAM INDUCED PLASMA PROBES
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
פרסום בינלאומי
2013/012616
הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
15/07/2011
דין קדימה
61/508578
ארה"ב (US)
10/07/2012
בקשה בינלאומית
PCT/US/2012/046100
ארה"ב (US)
14/01/2014
בקשת PCT
230462
ישראל (IL)
31/03/2014
פרסום לאומי
230462
ישראל (IL)
סיווגים (IPC)
G01R : פיזיקה > מדידה; בדיקה
מגיש
שם:
ORBOTECH LTD.
מגיש
שם:
PHOTON DYNAMICS, INC
פטנטים דומים
בדיקת פוטודיודים על ידי קרן אלקטרוני
אלומת קרן אלקטרונים בצורת T לסריקה כללית במיקרוסקופ אלקטרוני
תיל יורה אלקטרונים המספק פלסמת יונים
מיזוג פולימרים נמוכי-K לבין שכבות חומר דאלקטרי באמצעות קרינה מבוקרת של קרן אלקטרונים
אקדח אלקטרון פלזמה-אנוד