כללי
מספר פטנט:
219703
שם האמצאה:
תרחיף עבור צחצוח מכני כימי ושיטת צחצוח עבור המשתמש בו
שם באנגלית:
SLURRY FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING AND POLISHING METHOD FOR SUBSTRATE USING SAME
  בקשות ופרסומים
תאריך סוג מספר מדינה
פרסום בינלאומי 2011/058952 הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
דין קדימה 258444/2009 יפן (JP)
בקשה בינלאומית PCT/JP/2010/069851 יפן (JP)
בקשת PCT 219703 ישראל (IL)
פרסום לאומי 219703 ישראל (IL)
  סיווגים (IPC)
  • H01L: חשמל > אלמנטים חשמליים בסיסיים