כללי
מספר פטנט:
213025
שם האמצאה:
מכשיר ושיטה לבדיקה אופטית, זיהוי ואנאליזה של MACRO פגמים בשני הצדדים וקצה הפרוסה
שם באנגלית:
METHOD AND APPARATUS FOR OPTICAL INSPECTION, DETECTION AND ANALYSIS OF DOUBLE SIDED AND WAFER EDGE MACRO DEFECTS
  בקשות ופרסומים
תאריך סוג מספר מדינה
בקשה לאומית 213025 ישראל (IL)
פרסום לאומי 213025 ישראל (IL)
  סיווגים (IPC)
  • G01N: פיזיקה > מדידה; בדיקה