שיטה ומערכת לאיכול ע" י קסינון פלואריד עם יעילות משופרת - פטנט 169798 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 169798
שם האמצאה:: שיטה ומערכת לאיכול ע" י קסינון פלואריד עם יעילות משופרת
שם באנגלית:: METHOD AND SYSTEM FOR XENON FLUORIDE ETCHING WITH ENHANCED EFFICIENCY

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
27/09/2004	דין קדימה	60/613423	ארה"ב (US)
17/03/2005	דין קדימה	11/083303	ארה"ב (US)
20/07/2005	בקשה לאומית	169798	ישראל (IL)
04/07/2007	פרסום לאומי	169798	ישראל (IL)

מגיש

שם:: IDC, LLC.

פטנטים דומים