פיצוי פנימי עבור השתברות כפולה עבורמרכיבי ליתוגרפיה אופטית בעלי אורך גל נמוך מ-002 ננומטר ובעלי מבנים גבישיים קוביים - פטנט 159907 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 159907
שם האמצאה:: פיצוי פנימי עבור השתברות כפולה עבורמרכיבי ליתוגרפיה אופטית בעלי אורך גל נמוך מ-002 ננומטר ובעלי מבנים גבישיים קוביים
שם באנגלית:: INTRINSIC BIREFRINGENCE COMPENSATION FOR BELOW 200 NANOMETER WAVELENGTH OPTICAL LITHOGRAPHY COMPONENTS WITH CUBIC CRYSTALLIN

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2003/009050	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
18/07/2001	דין קדימה	60/306206	ארה"ב (US)
16/07/2002	בקשה בינלאומית	PCT/US/2002/022498	ארה"ב (US)
16/01/2004	בקשת PCT	159907	ישראל (IL)
20/06/2004	פרסום לאומי	159907	ישראל (IL)

מגיש

שם:: CORNING INCORPORATED

פטנטים דומים