קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
מטרת התזה שקועה
פטנט 158993
כללי
מספר פטנט:
158993
שם האמצאה:
מטרת התזה שקועה
שם באנגלית:
RECESSED SPUTTER TARGET
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
פרסום בינלאומי
2002/099157
הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
30/05/2001
דין קדימה
870164
ארה"ב (US)
08/05/2002
בקשה בינלאומית
PCT/US/2002/014302
ארה"ב (US)
20/11/2003
בקשת PCT
158993
ישראל (IL)
31/12/2006
פרסום לאומי
158993
ישראל (IL)
מגיש
שם:
PRAXAIR S.T. TECHNOLOGY, INC.
כתובת:
A CORPORATION ORGANIZED AND EXISTING UNDER THE LAWS OF THE STATE OF DELAWARE 441 SACKETT POINT ROAD NORTH HAVEN CT 06473 , US
מדינה:
ארה"ב
מסירת הודעות
שם:
ריינהולד כהן ושותפיו
כתובת:
רחוב הברזל 26א', רמת החייל 69710
מדינה:
ישראל
טלפון:
03-7109333
פקס:
03-5606405
דוא"ל:
rasham@rcip.co.il
סוכן
שם:
לוצאטו את לוצאטו
כתובת:
גן תעשייה, עומר, באר שבע 84152
מדינה:
ישראל
טלפון:
0732262626
פקס:
073-2262627
דוא"ל:
ilpto@luzzatto.co.il
סוכן
שם:
ריינהולד כהן ושותפיו
כתובת:
רחוב הברזל 26א', רמת החייל 69710
מדינה:
ישראל
טלפון:
03-7109333
פקס:
03-5606405
דוא"ל:
rasham@rcip.co.il
מסמכים
פרטי הבקשה
שרטוטים
תביעות
פטנטים דומים
בסיס לביצוע תהליך של שפשוף שכבת מתכת באמצעות הפצצה באטומים (SPUTTER ) בעל אורך חיים מורחב
שיטה והתקן להנחת התזה
חריץ אוורור מותאם להרכבת מטרת פיזור
מטרות ספטר בעלות אורך חיים מוארך
ניטור ובקרה בזמן אמת על שחיקת מטרת צבר אטום קטן