שיטה והתקן לגילוי נקודת סיום בתהליך הברקה כימי מכני - פטנט 134237 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 134237
שם האמצאה:: שיטה והתקן לגילוי נקודת סיום בתהליך הברקה כימי מכני
שם באנגלית:: METHOD AND APPARATUS FOR ENDPOINT DETECTION FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	1999/064205	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
08/06/1998	דין קדימה	093467	ארה"ב (US)
04/06/1999	בקשה בינלאומית	PCT/US/1999/012535	ארה"ב (US)
26/01/2000	בקשת PCT	134237	ישראל (IL)
30/04/2001	פרסום לאומי	134237	ישראל (IL)

מגיש

שם:: SPEEDFAM-IPEC CORPORATION

פטנטים דומים