התקן אופטי ושיטה לניקוי ההתקן מיישר ושיטה לייצורם - פטנט 133422 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 133422
שם האמצאה:: התקן אופטי ושיטה לניקוי ההתקן מיישר ושיטה לייצורם
שם באנגלית:: OPTICAL DEVICE METHOD OF CLEANING THE SAME PROJECTION ALIGNER AND METHOD OF PRODUCING THE SAME

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	1998/057213	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
10/06/1997	דין קדימה	9-152695	יפן (JP)
09/06/1998	בקשה בינלאומית	PCT/JP/1998/002536	יפן (JP)
09/12/1999	בקשת PCT	133422	ישראל (IL)
30/04/2001	פרסום לאומי	133422	ישראל (IL)

מגיש

שם:: NIKON CORPORATION

מגיש/ממציא

שם:: AKAGAWA MASAYUK

מגיש/ממציא

שם:: YAMASHITA OSAMU

מגיש/ממציא

שם:: TANIUCHI TAICHI

פטנטים דומים