מעבד פלסמה בריק בעל סליל עם חלק בייניים המצמיד פחות צפיפות שטף מגנטי לפלסמה מאשר לחלק המרכזי וההיקפי של הסליל פטנט 129918
כללי
מספר פטנט:
129918
שם האמצאה:
מעבד פלסמה בריק בעל סליל עם חלק בייניים המצמיד פחות צפיפות שטף מגנטי לפלסמה מאשר לחלק המרכזי וההיקפי של הסליל
שם באנגלית:
VACUUM PLASMA PROCESSOR HAVING COIL WITH INTERMEDIATE PORTION COUPLING LOWER MAGNETIC FLUX DENSITY TO PLASMA THAN CENTER AND PERIPHERAL PORTIONS OF THE COIL