נוהל מד יחס כיוונון אוטומטי עבור מחולל פלסמת תדירות רדיו - פטנט 128203 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 128203
שם האמצאה:: נוהל מד יחס כיוונון אוטומטי עבור מחולל פלסמת תדירות רדיו
שם באנגלית:: RATIOMETRIC AUTOTUNING ALGORITHM FOR RF PLASMA GENERATOR

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
09/02/1998	דין קדימה	020835	ארה"ב (US)
24/01/1999	בקשה לאומית	128203	ישראל (IL)
30/11/1999	פרסום לאומי	128203	ישראל (IL)

מגיש

שם:: ENI TECHNOLOGIES INC.

פטנטים דומים