שיטות והתקנים לבקרת הבדלי פזות במערכות עיבוד פלסמה - פטנט 126393 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 126393
שם האמצאה:: שיטות והתקנים לבקרת הבדלי פזות במערכות עיבוד פלסמה
שם באנגלית:: METHODS AND APPARATUSES FOR CONTROLLING PHASE DIFFERENCE IN PLASMA PROCESSING SYSTEMS

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
29/03/1996	דין קדימה	642172	ארה"ב (US)
19/03/1997	בקשה לאומית	126393	ישראל (IL)
10/03/2002	פרסום לאומי	126393	ישראל (IL)

מגיש

שם:: LAM RESEARCH CORPORATION
כתובת:: 4650 CUSHING PARKWAY FREMONT, CA 94538-6470 , US
מדינה:: ארה"ב

מסירת הודעות

שם:: ריינהולד כהן ושותפיו
כתובת:: רחוב הברזל 26א', רמת החייל 69710
מדינה:: ישראל
טלפון:: 03-7109333
פקס:: 03-5606405
דוא"ל:: rasham@rcip.co.il

סוכן

שם:: ג'יי אמ בי דייויס בן-דוד
כתובת:: מרכז בק למדע, הרטום 8, הר חוצבים, ירושלים 9777401
מדינה:: ישראל
טלפון:: 02-5714777
פקס:: 02-5714455
דוא"ל:: ipo@jmb.co.il

סוכן

שם:: ריינהולד כהן ושותפיו
כתובת:: רחוב הברזל 26א', רמת החייל 69710
מדינה:: ישראל
טלפון:: 03-7109333
פקס:: 03-5606405
דוא"ל:: rasham@rcip.co.il

מסמכים

פטנטים דומים